高纯氢气的应用领域

高纯氢气因其特的性能，在多个领域具有重要应用：

（1）半导体与电子工业

晶圆制造：用于半导体晶圆制造中的外延生长、退火等工艺。

清洗气体：用于清洗半导体设备，去除表面杂质。

载气：作为载气用于气相沉积（CVD）和刻蚀工艺。

（2）光伏产业

硅片生产：用于多晶硅和单晶硅的生产过程中，作为还原气体。

薄膜太阳能电池：用于制造薄膜太阳能电池的工艺气体。

（3）化工与石化

加氢反应：用于石油炼制、化工合成中的加氢反应，如加氢脱硫、加氢裂化等。

合成氨：用于合成氨（NH₃）的生产。

（4）能源与燃料电池

燃料电池：作为燃料电池的燃料，用于发电或驱动车辆。

储能：作为清洁能源载体，用于储能和能源转换。

（5）科研与实验室

分析仪器：作为气相色谱（GC）、质谱（MS）等分析仪器的载气或燃料气。

实验反应：用于化学实验中的还原反应或作为反应介质。

（6）与食品

医疗气体：用于医疗设备或作为呼吸气体的组成部分。

食品加工：作为食品加工中的保护气体或添加剂。