产品名称高纯氩
有效成分含量≥99.99%%
是否进口否
加工定制否
售卖地区江苏
包装瓶装
预约方式电话预约
是否危险化学品是
化学性质不助燃
贮存高压贮存
可售卖地全国
等级工业级
产品等级工业级
氩气纯度检测
高纯氩,纯度高达99.99的稀有气体,在半导体制造中扮演着的角色。在晶圆制造的刻蚀环节,高纯氩作为保护气体,能有效防止晶圆表面氧化,确保电路图案的转移。此外,高纯氩还用于清洗和吹扫,去除杂质,提升芯片良率。随着半导体工艺不断精进,对高纯氩纯度的要求也日益严苛,其重要性不言而喻。
高纯氩气的使用注意事项:
1、封闭式工作:封闭运行可提供良好的自然通风条件,接受培训严格遵守操作规程,防止气体泄漏到车间空气中;
2、运输过程中应轻拿轻放,以免损坏气瓶及附件,配备泄漏应急处理设备;
3、高纯度氩是一种高压气体,储存在无色、无味、的未燃烧气瓶中;
4、如果其含量增加,氧含量低于19.5%将导致窒息,配备自吸呼吸面罩;
5、本产品为高压充电气体,需减压后方可使用;
6、包装气瓶具有使用寿命:过期的气瓶送部门进行检查,请继续使用;
7、每个气瓶使用尾气时,瓶内残余压力为0,保持在5MPa,至少为0.5MPa,残余压力不得低于25MPa。应关闭瓶阀,以确保气体质量和使用;
8、氩气在运输、储存和使用过程中,应分类堆放,严禁堆放可燃气体和燃烧气体,不要靠近火焰和热源,不要沾上油蜡,不要晒太阳,不要再扔,不要碰撞,不要在气瓶上产生电弧或电弧,严禁野蛮装卸。

在薄膜沉积过程中,高纯氩气作为载气和保护气,将反应气体输送到反应腔室,并形成稳定的等离子体环境,确保薄膜均匀沉积。同时,氩气还能有效防止晶圆表面氧化,提高薄膜质量。
在刻蚀工艺中,高纯氩气则用于产生高能离子,对晶圆表面进行刻蚀,形成所需的电路图案。氩气的化学惰性使其与晶圆材料发生反应,保证了刻蚀的精度和一致性。

同时,氩气还能有效防止食品氧化,保持食品的色泽、风味和营养成分。例如,在坚果、薯片等易氧化食品的包装中充入高纯氩气,可以防止食品变味、变质,保持其酥脆口感。
高纯氩气保鲜技术具有安全、环保、等优点,在食品工业中具有广阔的应用前景。

它的性质十分不活泼,既不能燃烧,也不助燃。在飞机制造、造船、原子能工业和机械工业部门,对金属,例如铝、、铜及其合金和不锈钢在焊接时,往往用氩作为焊接保护气,防止焊接件被空气氧化或氮化。用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中化学气相沉积、晶体生产、热氧化、外延、扩散、多晶硅、邬化、离子注入、载流、烧结等,用作平衡气、标准气、零点气等。
高纯氩气的应用
高纯氩用于照明技术,填充日光灯、光电管、、照明管及飞机制造业;氩用作电弧焊接不锈钢、、铝和其它合金铁保护气体;氩用于锆、钛、钽、铍、铌、铀、钍等稀有金属的提炼和焊接技术,液氩用于焊接和冶金等。在半导体材料和器件生产中,特别是制造大规模集成电路,高纯氩气的应用占有重要地位。氩气主要作为稀释气、运载气、保护气、激光混合气。
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